1、空气洁净度分级的检测

C.1.1空气洁净度等级的测试

一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量     每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。

C.1.2 采样点确定

1 应按下式计算最少采样点

（C.1.3）

式中——最少采样点，四舍五入取整           

——洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。

2 采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。

1、空气洁净度分级的检测

C.1.3 每次采样的最少采样量应符合下列规定：

1、每个采样点的每次采样量（Vs）应按下式计算

式中：

Vmn —— 被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/m3）；

20 —— 在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。

2 、每个采样点的采样量至少为2L，采样时间最少为1min，当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。

C.1.6 室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

10.14  悬浮粒子计数的洁净度分级测试─ISO 14644-3标准

进行悬浮粒子计数的洁净度分级测试，是测定检测时（空态、静态、动态）时洁净室设施中的实际粒子计数水平，关注粒径、占用状态、房间分级均在测试开始前已知，是按合同文件的规定业主/买方与NEBB认证的公司间的约定。

10.14.2.2  采样位置

最小采样点数量是：若采样点数量为1，在该点要至少采样3次。采样点位置多于最小量将增加精度。计算最小采样点数量是采用房间平方米面积的平方根，修约至最近的下一位整数。

式中：

SL = 最小采样点数量，RA = 房间面积（平方米）。

10.14.2.4  采样次数

最小采样次数为3。一个位置的最小采样次数为1。每个位置的采样次数可多于1次。

10.14.2.5  每个位置的采样流量

ISO分级房间每个采样位置的单次采样量

Vs = 采样量（L）。

Cn,m =为相应等级所规定的最大关注粒径的等级限值（粒子数量/m3）。

注：最小采样量是2L，最小采样时间是1分钟。富臻建设专业各级别电子、食品、医药等场所洁净室装